高機能Oリング(Exzeus)エグゼウスシリーズ

 従来よりも特殊な用途に、耐えれるように対応した特殊材質シールリングです。半導体や生産設備熱処理・塗装設備等、より過酷な環境向けに耐熱用、耐寒、耐プラズマ、耐アミン、非粘着等様々なグレードを取り揃えております。

            
品番 特性 適応可能プロセス
B401BK耐熱用グレード ・優秀な耐熱性
・幅広い範囲の耐薬品性
・高温域での優秀な圧縮永久歪による
 高いシール性
・優秀な機械的物性
・最高使用可能温度:320℃
・熱プロセス 
・酸化/拡散
・LPCVD
 (減圧CVD)
・Lamp Anneal RTP
B402WH耐プラズマ用グレード ・耐プラズマ性
・低いアウトガス特性
・耐薬品性
・高温域での優秀な圧縮永久歪による
 高いシール性
・最高使用可能温度:270℃
・プラズマガス成膜
・PVD(スパッタ)
・Metal CVD
・Copper(銅配線)
B404C耐プラズマ用クリアグレード ・高純度及び低い金属イオン含有
・耐プラズマ性
・低いアウトガス特性
・低い汚染性
・最高使用可能温度:260℃
・プラズマガス成膜
・エッチング
・アッシング
・HDPCVD
・PECVD
B409WH耐アミン用グレード ・高温域での耐アミン性
・耐蒸気性
・優れた機械的物性
・高温域での優秀な圧縮永久歪
・最高使用可能温度:250℃
・ウェットプロセス
・Water Prep
・Cleanimg and Rining
・エッチング 
・レジスト塗布
・現象 ・レジスト剥離
A301BK耐アミン用グレード ・アミン類に対して、良好な耐薬品性
 を発揮するコストパフォーマンス
 に優れたグレード
・最高使用可能温度:200℃
・レジスト塗布
・レジスト剥離
・洗浄工程
A201BK耐寒用グレード ・低温域での使用が可能なFKM
・従来のFKMでは難しかった、様々な
 温度帯をカバー
・コストパフォーマンスに優れたグレード
・最低使用可能温度:-30℃
・FKMの性質のまま
 低温が必要な箇所に
・温度変化の激しい箇所
A202BK耐寒用グレード ・低温域での使用が可能なFKM
・従来のFKMでは難しかった、様々な
 温度帯をカバー
・A201BKよりも更に強力な耐低温製を示す
・最低使用可能温度:-40℃
・FKMの性質のまま
 低温が必要な箇所に
・温度変化の激しい箇所
A101BK耐熱用グレード ・高温でのシール保持性を目的に開発
 され、FFKMとFKM中間温度帯を
  優れたコストパフォーマンスで
 カバーする耐熱グレード
・最高使用可能温度:280℃
  • 特設ページはこちら
  • ・熱プロセス
    A111BK-F非粘着グレード ・FKMに表面処理を施し、摩擦力を
     減らし非粘着としたもの
    ・コーティング処理とは異なるので
     効果が持続しやすく、剥離の心配がない
    ・最高使用可能温度:220℃
    ・装着時の摩擦低減
    ・装着部位での粘着
     、固着防止

    ※最高使用可能温度・最低使用可能温度は参考値であり、保証値ではありません。

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  • タガミシール工業株式会社:[本社/工場(ISO9001取得)]兵庫県神戸市長田区南駒栄町1番170号 TEL 078-646-5331 FAX078-643-6081 ◎営業拠点 倉敷営業所 関東出張所(営業所)
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