ExzeusB404C(エグゼウスシリーズ)

耐プラズマクリアグレード

高機能Oリング 耐プラズマクリアグレード ■高純度及び低い金属イオン含有 ■耐プラズマ性 ■低いアウトガス特性 ■低い汚染性 :ExezusB404C 

 Exzeus B404Cは、優れた純粋性による耐プラズマ、耐パーティクルグレードです。
酸素及びフッ素プラズマ工程でのパーティクル発生が最小化でき、耐プラズマ性に適しています。低いアウトガス特性により、HDPCV、PECVD工程などのドライ工程に適しています。

耐プラズマ性

耐プラズマ性の比較

物理特性および耐熱目安温度

色調 琥珀色半透明
引っ張り強さ(Mpa) 13.2
破断時の伸び(%) 230
硬度(Shore A)±5 72
100パーセントモジュラス(Mpa) 3.8
耐熱温度(℃) 260
圧縮永久歪(O-ringAS668-214)                       
・70h×200℃(%) 23
・70h×250℃(%) 37

※本製品のご提案は誠意をもって行いますが、性能を保証するものではございません。お客様にて事前の性能試験をお願い致します。
※数値に付きましてはカタログver1.0より転載しております。
※製品の仕様は予告なく変更する場合がありますので、ご了承ください。

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