ExzeusB402WH(エグゼウスシリーズ)

耐プラズマグレード

高機能Oリング 耐プラズマグレード ■高温域での耐アミン性 ■耐蒸気性 ■優れた機械的物性 ■高温域での優れた圧縮永久歪:ExezusA409WH 

  ExzeusB402WHは、卓越した耐プラズマ性、酸素及びフッ素プラズマ環境での低い汚染性、低いアウトガス特性に優れ、重量減少の極めて少ないグレードです。
過酷なプラズマ環境、高温、高エネルギーによるドライエッチング、アッシング、PVD,CVD工程に適しています。各種の化学物質にも優れた耐性があり、良好な圧縮永久歪などの優れた物理的、機械的性質があり長期間の真空シールにも適しています。

耐プラズマ性

耐プラズマ性の比較

物理特性および耐熱目安温度

色調
引っ張り強さ(Mpa) 13.4
破断時の伸び(%) 237
硬度(Shore A)±5 75
100パーセントモジュラス(Mpa) 7.2
耐熱温度(℃) 270
圧縮永久歪(O-ringAS668-214)                       
・70h×200℃(%) 18
・70h×250℃(%) 30
・70h×270℃(%) 34

薬品耐性浸透試験データ

薬品名 評価 薬品名 評価
無機酸 エーテル
有機酸 アルデヒド
アルカリ アルコール
アミン(常温) 炭化水素
アミン(70℃) C 酸性ガス
水/水蒸気 潤滑油
ケトン(MEK) フッ素ガス
エステル エチル
記号評価 体積変化率(%)
A 10%以内
B 11~30%
C 31~50%
D 51%以上

※本製品のご提案は誠意をもって行いますが、性能を保証するものではございません。お客様にて事前の性能試験をお願い致します。
※数値に付きましてはカタログver1.0より転載しております。
※製品の仕様は予告なく変更する場合がありますので、ご了承ください。

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